Fabricação de nanoestruturas Parte II Prof. Dr. Antonio Carlos Seabra

Post on 10-Jan-2016

42 views 2 download

description

Fabricação de nanoestruturas Parte II Prof. Dr. Antonio Carlos Seabra Dep. Eng. de Sistemas Eletrônicos Escola Politécnica da USP acseabra@lsi.usp.br. Litografia Top-Down. Litografia na Indústria de CIs Litografia Óptica Litografia por Raios-X - PowerPoint PPT Presentation