APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOSTECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS

APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA APLICAÇÕES DO ÓXIDO DE SILÍCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOSTECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE DISPOSITIVOS

ESTRUTURA DO ÓXIDO DO SILÍCIOESTRUTURA DO ÓXIDO DO SILÍCIO

PROCESSOS BÁSICOS (DIFUSÃO E REAÇÃO) P/ PROCESSOS BÁSICOS (DIFUSÃO E REAÇÃO) P/ OXIDAÇÃO DO SILÍCIOOXIDAÇÃO DO SILÍCIO

CONSUMO DO SUBSTRATO DE Si DURANTE A CONSUMO DO SUBSTRATO DE Si DURANTE A OXIDAÇÃO TÉRMICA P/ FORMAÇÃO DO SiOOXIDAÇÃO TÉRMICA P/ FORMAÇÃO DO SiO22

XXSi Si (ESPESSURA-CAMADA CONSUMIDA DO Si) (ESPESSURA-CAMADA CONSUMIDA DO Si) 0,44. Xox(ESPESSURA - CAMADA DE SiO 0,44. Xox(ESPESSURA - CAMADA DE SiO22))

INFLUÊNCIA DA EXPANSÃO DE VOLUME NA TECNOLOGIA DE INFLUÊNCIA DA EXPANSÃO DE VOLUME NA TECNOLOGIA DE ISOLAÇÃO POR OXIDAÇÃO LOCAL (LOCOS)ISOLAÇÃO POR OXIDAÇÃO LOCAL (LOCOS)

OXIDAÇÃO TÉRMICA DO SILÍCIOOXIDAÇÃO TÉRMICA DO SILÍCIO

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

OXIDAÇÃO CONTROLADA POR DIFUSÃO

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

OXIDAÇÃO CONTROLADA POR REAÇÃO

OXIDAÇÃO CONTROLADA POR DIFUSÃO

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA PARABÓLICA

B

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA LINEAR

B/A

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA LINEAR

B/A

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA LINEAR

B/A

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA PARABÓLICA

BFATORES QUE ALTERAM D e C*, ALTERAM BB

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

TAXA LINEAR

B/AFATORES QUE ALTERAM k e C*, ALTERAM B/AB/A

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

ORIENTAÇÃO

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

PRESSÃO E ORIENTAÇÃO

TAXA PARABÓLICA:OXIDAÇÃO CONTROLADA

PELA DIFUSÃO

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

LÂMINAS DE Si DOPADAS COM FÓSFOROLÂMINAS DE Si DOPADAS COM FÓSFORO

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

LÂMINAS DE Si DOPADAS COM BOROLÂMINAS DE Si DOPADAS COM BORO

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)CINÉTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAÇÃO