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Deposição de Filmes por
Evaporação Térmica
Processamento de Materiais II Processamento de Materiais II –– POSMAT/2010POSMAT/2010
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Motivação
� Aplicações� Evaporação de metais - contatos
elétricos/espelhos
� Multicamadas ópticas / filtros interferométricos � Deposição de semicondutores e isolantes:
dispositivos:� Processamento� Memória� LEDs / Lasers
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Motivação
� Tecnologias / sistemas utilizados� Sistemas de MBE – multicamadas eletrônicas� Deposição por laser pulsado (PLD)� Deposição por feixe eletrônico (e-beam)� Deposição de compostos e ligas (flash)
4
Motivação
�Sistemas de evaporação
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PLD – deposição por laser pulsado
Wiki - H.Perowne 2006 (UTC)
Breakthrough: 1987 - Dijkkamp / Venkatesan YBa2Cu3O7
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7
Câmara PLD
www.tkk.fi/Units/AES/projects/prlaser/equipment.htm
8
Evaporação por feixe eletrônico
9
Sistemas de
evaporação
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MBE – células de efusão
Molecular-beam epitaxy system at LAAS
11
Célula de Knudsen
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3
13
Evaporação – célula de Knudsen
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Micro Processadores / MQW-LEDs e LASERs:
várias etapas – em ultra-alto-vácuo
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Evaporação Térmica
� 3 etapas
� 1: Transformação de fase
sólido ou líquido => vapor
� 2: Transporte
fonte => substrato
� 3: Condensação e crescimento do filme
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1. Transfomação de Fase
� Água a T ambiente:
Gelo ou líquido? Por que?
Mesma pergunta para substância a determinada T (condensada ou vapor?).
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Condição de Equilíbrio (?!)
� Como formar o filme?
4
19
Condição de Equilíbrio (?!)
� Todas as substâncias evaporam!� Como saber a T “ideal” p/ evaporar ?
20
Evaporação:
equilíbrio | fora do equilíbrio
radi
ação
cav
idad
e
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Material de Apoio
Evaporação
Ciência e Tecnologia
de Filmes Finos
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Pressões de vapor – metais.
Catálogo Balzers
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