Excitação por feixe de elétrons
Microssonda Eletrônica Cameca SX50
Microssonda Eletrônica Cameca SX50
Microssonda Eletrônica
Vacuum Regimes: What’s whatWhat # of gas
molecules
present
Dominant gas
species
Mean Free
Path (between
collisions)
Pressure
Atmospheric
Pressure10
19 gas
molecules/cm3
N>O>H2O MFP=0.1 um 760 torr
Mechanical
Pumping10
14 gas
molecules/cm3
H2O>N,O MFP = 1 cm10
-3 torr
Diffusion
Pumping10
9 gas
molecules/cm3
H2O MFP=105 cm 10
-6 torr
Ultra High
Vacuum10
6 gas
molecules/cm3
H, He MFP=106 m 10
-10 torr
UW- Madison Geology 777
Units of Vacuum
The two main units used to measure
pressure (vacuum) are torr and Pascal.
Atmospheric pressure (STD) = 760 torr or
1.01x105 Pascal.
One torr = 133.32 Pascal
One Pascal = 0.0075 torr
An excellent vacuum in the electron
microprobe chamber is 4x10-5 Pa (which
is 3x10 -7 torr)
John Fournelle. Electron probe microanalysis
EPMA. UW-Madison
ESPECTROSCOPIA POR DISPERSÃO EM ENERGIA - EDS
Analisador Multicanal
Resoluções com diferentes contadores
LIMITE DE RESOLUÇÃO EM EDS
ESPECTROSCOPIA POR DISPERSÃO EM COMPRIMENTO DE ONDA - WDS
nλλλλ = 2d sen(θθθθ)
Geometria de Parafocalização
EDS x WDS
EDS
WDS
Preparação de amostras
Exemplos de
mapas de raios X
Corrosão em aço
BSE Fe
O S
Distribuição de Elementos em Zircão
Mapas de raios X