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CATALOG No.238-4T

採用獨自的模組結構的超薄型XYθ平台CMX

對位平台

CMX

1

CMX型的基本結構

用途

CMX型的結構與特長

●採用了劃時代性模組結構的超薄型平台（正在申請專利）在基座、工作台之間的四角平面裝上組合了交叉LM導軌CSR型和特殊交叉滾柱軸承的模組的獨特結構，實現了超薄型

結構。

●液晶面板製造設備、檢查裝置

●半導體製造設備、檢查裝置

●網紋印刷機

●印刷電路板製造設備、檢查裝置

■對應大型工件標準最大工作台尺寸為1500mm×1500mm的大型平台。

借由安裝所需數量的模組，也可以對應更大的尺寸。

■超薄型、輕量因為採用XYθ模組，所以實現了無中座的薄而輕的機

構。

■中空結構工作台、基座中央部分獲得較大的空間，可以作為光學

式檢查裝置或導通測試器使用。

■高剛性、高精度對構成模組的交叉LM導軌和交叉滾柱軸承施加了預壓，

是高精度、高剛性的結構。

馬達工作台

基座

滾珠螺桿

交叉LM導軌

交叉滾柱軸承

模組

θ

X Y

對位平台CMX型的結構

2

CMX型規格

精度測定方法

CMX型公稱型號的構成

公稱型號

工作台尺寸[mm]

行程[mm]※1

編碼器解析度[P/R]

滾珠螺桿導程[mm]

反復定位精度[µm]

平行度[µm]

搭載重量[kg]

靜額定負荷[kN]

本體重量[kg]

馬達型號[(株)安川電機]※2,3

驅動器型號[(株)安川電機]※2,3

光式微型感測器型號[歐姆龍(株)]※4

使用潤滑脂

工作台、基座的材質∕表面處理

CMX1 CMX2 CMX3

025 035 040 050 075 100 150

250×250 350×350 400×400 500×500 750×750 1000×1000 1500×1500

2048

1 2 4

±1

30 40 50 80 180 300 700

20 50 150

34.1 54

18 23 37 44 63 600 1150

127.2 254.4

A5052/黑色防蝕鋁處理 A2017/黑色防蝕鋁處理 FC250/THK AP-C處理

SGMM-A2C312 (20W) SGMAH-01BAA21 (100W) SGMAH-02BAA21 (200W)

SGDF-A2CP (20W) SGDM-01BDA (100W)

EE-SX672 (連接器：EE-1001)

THK AFF潤滑脂

SGDM-02BDA (200W)

＊1. θ行程為工作台在X軸、Y軸的行程中央時的值。＊2. CMX1用馬達驅動器的供給電源為DC24V。（其它為AC100V）＊3. 附帶連接馬達～驅動器之間的線路（3m）。＊4. 光式微型感測器的位置請貴公司進行最終調整。

注) 本對位平台的規格為20±2℃時的數值。

8192 (13比特串行編碼器)

公稱型號 X軸[µm] Y軸[µm] θ軸[秒]

CMX1-025 0.12 0.12 0.29

CMX1-035 0.12 0.12 0.19

CMX2-040 0.24 0.24 0.34

CMX2-050 0.24 0.24 0.25

CMX2-075 0.24 0.24 0.15

CMX3-100 0.49 0.49 0.25 CMX3-150 0.49 0.49 0.16

表. 各軸的最小解析度

注) CMX1的最小解析度表示4倍增時的解析度。

10×10×6° 10×10×4° 10×10×7° 10×10×5° 10×10×3° 10×10×4° 10×10×2°

��

公稱型號

工作台尺寸（例：040=400mm×400mm）

使用雷射干涉測長器在任意一點從相同方向反復進行7

次定位，測量停止位置，求所得最大差的1/2。在移動

距離的中央及兩端的各個位置上進行測量，以所得值中

最大的為測量值，在最大差的1/2上加±符號表示。

將平台放在檢查工作台上，在工作台上全面滑動試驗指

示器進行測量。這時將工作台佈置在行程中央。以工作

台測量區域的最大差為測量值。

■反復定位精度 ■平行度

3

對位平台CMX型如下圖所示組合X1、X2、Y這3個軸的動作，可以

進行各種各樣的平台運動。

動作原理

基準位置 X方向移動（M1、M2驅動）

X1軸

Y軸・停止

X1軸・停止

馬達1 (M1)

馬達3 (M3)

馬達2 (M2)

X1軸

X2軸 X2軸

X1軸

X2軸・停止

X2軸

X2軸

X1軸

斜向移動（M1、M2、M3驅動）Y方向移動（M3驅動）

Y軸 Y軸

Y軸 Y軸

工作台中心旋轉（M1、M2、M3驅動）旋轉移動（M1、M2、M3驅動）

4

送進量計算方法

參數表

0

下個位置

Ｘ

Ｙ

θ0

δθ

現在位置

初期位置

計算為求得任意的工作台旋轉角δθ所需的各軸的相對送進量的算式。

Ｘ1軸：δX1 ＝R cos（δθ＋θX1＋θ0）ーR cos（θX1＋θ0）（1式）

Ｘ2軸：δX2 ＝R cos（δθ＋θX2＋θ0）ーR cos（θX2＋θ0）（2式）

Ｙ軸：δY ＝R s in（δθ＋θY＋θ0）ーR s in（θY＋θ0）（3式）

δX1 ：X1軸的相對送進量 [mm]

δX2 ：X2軸的相對送進 [mm] 滾珠螺桿的送進量

δＹ：Y軸的相對送進量 [mm]

θX1 ：連接在X1軸上的交叉滾柱軸承中心的角度位置 [°] （參照參數表）

θX2 ：連接在X2軸上的交叉滾柱軸承中心的角度位置 [°] （參照參數表）

θY ：連接在Y軸上的交叉滾柱軸承中心的角度位置 [°] （參照參數表）

θ0 ：計算動作前的工作台角度 [°]

δθ ：工作台旋轉角 [°]

R ：通過連接在各軸上的交叉滾柱軸承中心的假設圓的半徑 [mm] （參照參數表）

δX1

δX2

θX1

θX2

δY

θY

0 R

X1軸

X2軸

Ｙ軸

[計算舉例]

型號：CMX2-040

動作模式：以各軸行程中心位置為原點，求使上滑台按以下順序進行動作時的各軸的送進量。

①X方向+1mm、Y方向+0.5mm平行移動

↓

②以工作台中央為旋轉中心進行+2°旋轉

↓

③ 從②的狀態-0.3°旋轉

算式所用記號的說明圖

Ｘ

Ｙ

＋

＋＋ 0

CMX1

CMX2

CMX3

θY

　0°

　45°

θX1

　90°

　135°

θX2

　270°

　225°

025

035

040

050

075

100

150

R85

135

145　 2

195　 2

320　 2

400　 2

650　 2

公稱型號

5

□Ｅ

4－Ｍ6深12

８－７開口ø11孔深12

(R)

DD

3H2H1H

H

WA

C

C

W

A

L

BB

L

BB

（基座中空尺寸）

CMX型外形圖

公稱型號最大行程高度基座工作台

單位：mm

CMX1-025

CMX1-035

10×10×6°

10×10×4°

H

90

H1

23

H2

44

H3

23

L

350

450

B

160

210

E

80

180

W

250

350

D

80

180

A

160

220

C

60

80

（R）

（10）

CMX1型

首先，不用計算X、Y方向的平行移動，已有的值為各軸的送進

量。接著計算＋2°的旋轉。根據參數表得知CMX2-040的各參

數為

R=145・√2

θY=45°

θX1=135°

θX2=225°

或者根據動作模式的條件得知

θ0=0°（因為現在位置為初期位置。）

δθ=2°

將以上數值分別帶入1式、2式、3式，則

關於X1軸計算得出

δX1 =145・√2・cos（2＋135＋0）－145・√2・cos（135＋0）

=-4.97210（mm）

關於X2軸、Y軸也同樣得出以下結果。

δX2 =+5.14876（mm）

δY =+4.97210（mm）

最後求從該狀態旋轉-0.3°時的各軸的送進量。

根據動作模式的條件得知

θ0=2°

δθ=-0.3°

將該數值分別帶入1式、2式、3式，則

關於X1軸計算得出

δX1 =145・√2・cos（(-0.3)＋135＋2）－145・√2・cos（135＋2）

=+0.73431（mm）

關於X2軸、Y軸也同樣得出以下結果。

δX2 =-0.78333（mm）

δY =-0.73431（mm）

軸

X1

X2

Y

X方向+1mm＋1

（＋1）

＋1

（＋1）

0

（0）

Y方向+0.5mm0

（0）

0

（0）

＋0.5

（＋0.5)

旋轉方向+2°－4.97210

（－3.97210）

＋5.14876

（＋6.14876）

＋4.97210

（＋5.47210）

旋轉方向-0.3°＋0.73431

（－3.23779）

－0.78333

（＋5.36543）

－0.73431

（＋4.73779）

相對送進量

單位：mm

◆ 步驟

◆ 計算結果

注：（）內的值表示距原點的絕對值（送進量）。

6

8－9開口ø14孔深14

8－Ｍ8深16

(R)

D

D

□Ｅ

3H2H1H

H

LB B

W1AAL

BB

W1AA

（基

座中

空尺

寸）


單位：mm

CMX2-040

CMX2-050

CMX2-075

20×20×7°

20×20×5°

20×20×3°

H

110

H1

27

H2

56

H3

27

L

500

600

850

B

235

285

410

E

210

310

560

W

400

500

750

D

210

310

560

A

180

280

530

A1

300

400

650

（R）

（15）

CMX2型

Ｎ－Ｍ10深20

12－14開口ø20孔深26

(R)

D

D

□Ｅ

2H 3H1HH

4A

4A

4A

2A

2A

1A3A W

B B BL

LB

BB

W3A1A

2A2A4A4A4A

（基

座中

空尺

寸）


單位：mm

CMX3-100

CMX3-150

30×30×4°

30×30×2°

H

160

H1

40

H2

72

H3

48

L

1200

1700

B

380

540

E

650

1000

W

1000

1500

D

650

1000

A1

800

－

A2

300

－

A3

－

1300

A4

－

350

N

12

16

（R）

（20）

CMX3型

7

●馬達規格

●驅動器規格

伺服馬達規格

驅動器型號 SGDF-A2CP SGDM-01BDA SGDM-02BDA

馬達容量[W] 20 100 200

額定∕最高轉速[min-1 ] 3000/5000

連續輸出電流 A [ rms] 2.0 2.4 3.0

最大輸出電流 A [ rms] 5.7 7.2 9.0

容許負載慣量JL [kg・cm2 ] 0.164 1.092 3.180

輸入電源

DC24V±10% 單相 AC100～115V+10～-15% (50/60Hz)

4A連續、9A峰值

控制方式 MOSFET-PWM方式單相全波整流 IGBT PWM控制正弦波電流驅動方式

反饋增量編碼器串行編碼器(增量)

使用溫度 0～+50℃ 0～+55℃

保存溫度 -20～+85℃

使用、保存濕度 90%RH以下 (無凝水)

耐振動∕耐衝擊耐振動 4.9m/s2 耐衝擊 19.6m/s2

結構基礎支架

概略重量[kg] 0.3 0.8 1.1

偏壓設置 0～450min-1 （設置解析度 1min-1）

前饋補償 0～100％（設置解析度 1％）

定位完畢幅度設置 0～250指令單位（設置解析度 1指令單位)

輸入種類符號＋脈衝列、CCW＋CW脈衝列、90度相位差2相脈衝（A相＋B相）

輸入脈衝形態線路驅動器（+5V級）、開路集電極（+5V級或者+12V級）

輸入脈衝頻率 0～450kpps 0～500kpps，但是開路集電極為200kpps(max)

控制信號清除信號（輸入脈衝形態與指令脈衝相同）

輸出形態 A相、B相、C相、開路集電極輸出 A相、B相、C相、線路驅動器輸出

分頻比 (16～2048)/2048 可任意分頻

序列輸入信號

序列輸出信號

制動(DB)功能無在主電源關閉、伺服警報器、伺服關閉時、超程時DB動作

防止超程(OT)功能 — 在P-ON、N-OT動作時DB停止、減速停止或者空轉停止

保護功能

顯示 Ready：綠 Alarm：紅 CHANGE、POWER、7段LED×5個

其它

適用馬達

使用周圍條件

指令脈衝

位置輸出

組合規格

基本規格

性能

輸出入信號

內裝功能

伺服ON、P動作、警報器復位、外部電流限制（3點）

伺服ON、P動作、禁止正轉∕逆轉驅動、警報器復位、正轉∕逆轉測電流限制

正在檢測電流限制、TGON、定位完畢、外部制動器聯鎖

及伺服警報器（2點）

過電流、過負載、過速度、原點異常、防止超出控制範圍、CPU異常、編碼器異常、偏差過大

制動器聯鎖信號輸出、JOG運轉、自動調諧、電子齒輪

伺服警報器、警報器電線（3比特輸出）：CN1的輸出端子為固定

伺服準備、定位完畢（速度一致）、馬達轉動中、電流限制中、速度限制中、制動器解除警告、可從NEAR中選擇3種輸出信號

過電流、過電壓、電壓不足、過負載、再生異常、主線路檢測部分異常、散熱裝置過熱電源缺相、溢出、過速度、

編碼器異常、防止超出控制範圍、CPU異常、參數異常等

逆轉連接、原點搜索、馬達自動判別功能、電源高諧波控制DC電抗連接端子

CMX3CMX2公稱型號

項目CMX1

馬達型號 SGMM-A2C312 SGMAH-01BAA21 SGMAH-02BAA21

額定輸出 [W] 20 100 200

額定扭力 [N・m] 0.0637 0.318 0.637

瞬間最大扭力 [N・m] 0.191 0.955 1.91

額定轉速 [min-1 ] 3000

最高轉速 [min-1 ] 5000

轉子慣量J [kg・cm2 ] 0.00548 0.0364 0.106

馬達重量 [kg] 0.2 0.5 1.1

8

●伺服馬達驅動器外形尺寸圖

SGDF-A2CP

��

��

��

��

��

��

��

��

��

��

��

��

��

��

��

��

��

（1）

（1）

��（35）

�

�

��

�

100（包括安裝螺絲）

149.5±

0.5

（安裝螺距）

92（安裝螺距）

散熱裝置

端子台

(33種)

地線端子

2-Ｍ4螺絲

2-Ｍ4螺絲孔

6 1055

6

160

17

銘板

銘板

銘板

（75） 130

5.5

（5）

5

55

連接器符號 Servopack測連接器製造廠商

CN1、CN2 52822-4011 Molex

CN3 5569-03A4-201 Molex

CN4 5569-04A2-210 Molex

CN5 555153-1 Tyco Electronics AMP K.K.


CN1 10250-52A2JL Sumitomo 3M Limited

CN2 53460-0611 Molex


SGDM-01BDA

9

��

��

��

��

149.5±

0.5

（安裝螺距）端子台

（3種）

地線端子

2-Ｍ4螺絲

螺絲孔

6 6

512

10

75

160

149.5

17

銘板

銘板

（75） 130

5.5

（5）

12

75（63）

（5）

5.5 ø5孔



CN2 53460-0611 Molex


SGDM-02BDA

※其它的詳細規格、尺寸等請參照(株)安川電機的AC伺服驅動

“Σ-mini系列”、“Σ-II系列”。

10

特殊對應對位平台

THK依照顧客的規格製作特殊的對位平台。

● 特殊對應品業實績舉例

① 大型規格

② 小型規格

③ 長行程規格

④ 高剛性中心驅動規格

⑤ 超高剛性高精度4軸驅動規格

⑥ 重搭載重量規格

⑦ 安裝姿勢變更規格

① 大型規格比標準產品CMX3-150型增大了基座尺寸、工作台尺寸的對位平台。

基座尺寸□1700mm～2400mm

工作台尺寸□1500mm～2200mm

模組數8set～10set

11

工作台尺寸□230mm以下

② 小型規格比標準產品CMX1-025還要小的工作台尺寸的對位平台。

長行程軸300mm行程以上

③ 長行程規格將對位平台與搬運用1軸平台合為一體，可以節省空間。

12

④ 高剛性中心驅動規格將驅動軸佈置在中央，空轉少，偏向的剛性提高。並且，可以將旋轉中心佈置在工作台中心，所以容易控制。

⑤ 超高剛性高精度4軸驅動規格在各模組上佈置滾珠螺桿，相對軸向獲得高度剛性，空轉少，可進行高精度的定位。

13

⑥ 高負載型加大LM導軌、滾珠螺桿、交叉滾柱軸承的型號，提高每套模組的額定負荷，可以承受高負載負荷。針對希望的搭載重

量，設計、製作最佳的模組。

θ

⑦ 安裝姿勢變更規格根據使用條件，作為特殊對應產品。

掛壁規格、斜面規格時需要考慮滾珠螺桿、軸承的軸向剛性。

搭載重量150kg～5000kg

掛壁規格倒掛規格斜面規格

以下規格也請向THK諮詢。

■ 不屬於上述任何一例的尺寸、行程、搭載重量時

■ 需要變更馬達容量時，或者指定使用的馬達時

■ 在特殊環境下使用時

■ 變更材質、表面處理時

■ 需要產品規格表（參照第2頁）以外的精度時

14

年月日

《對位平台規格磋商表》

電纜長度(馬達～驅動器之間)

材質

使用環境

□標準（3m） □指定（ m）

□標準 □指定馬達（型號：）

縱：橫：高：

□工作台中央 □其它（）

□無 □有（負載負荷：負荷方向：）外部負載 [N]

X軸： Y軸： θ軸： °

X軸： Y軸： θ軸： °

搭載重量 [kg ]

□一般大氣中 □潔淨室（等級） □真空（ Torr）

□標準（任憑） □指定（）

□標準 □指定（）表面處理

使用部位

設置姿勢

使用目的

需要精度的行程 [mm]

機械止動器間行程 [mm]

使用馬達

尺寸限制 [mm]

平行度 [µm]

反復定位精度 [µm]

負荷位置

□水平 □掛壁 □倒掛 □斜面 □其它（）

※ 請複印使用

公司名稱

部門名稱

姓名

郵政編碼

地址

電話

傳真

電子郵件

使用注意事項

●本產品的設置

‧請使用基座安裝孔進行設置。

‧使用時，請取下搬運用固定板及吊環螺栓。

●設置場所

請不要將本產品設置在以下場所。

‧周圍溫度超出0～40℃的範圍，周圍濕度在85%以上，產生凝水，產生腐蝕性氣體和可燃性氣體的場所。

‧有鐵粉等具有介質性粉體、塵埃、油霧、切削液、水分、鹽分及有機溶劑飛濺的場所。

‧陽光、輻射熱直接照到的場所。

‧發生強電場、強磁場的場所。

‧會傳到振動或衝擊的場所。

●安全注意事項

‧請在作業前仔細閱讀JIS規格“產業用操作機器人－安全性”（JIS B8433）及勞動省的“勞動安全衛生規則”，

並遵守。

‧搬運時請將有眼螺栓固定在基座上。

‧搬運時請安裝搬運用固定板。

對位平台 CMX

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