Excitação por feixe de elétrons

Microssonda Eletrônica Cameca SX50

Microssonda Eletrônica Cameca SX50

Microssonda Eletrônica

Vacuum Regimes: What’s whatWhat # of gas

molecules

present

Dominant gas

species

Mean Free

Path (between

collisions)

Pressure

Atmospheric

Pressure10

19 gas

molecules/cm3

N>O>H2O MFP=0.1 um 760 torr

Mechanical

Pumping10

14 gas

molecules/cm3

H2O>N,O MFP = 1 cm10

-3 torr

Diffusion

Pumping10

9 gas

molecules/cm3

H2O MFP=105 cm 10

-6 torr

Ultra High

Vacuum10

6 gas

molecules/cm3

H, He MFP=106 m 10

-10 torr

UW- Madison Geology 777

Units of Vacuum

The two main units used to measure

pressure (vacuum) are torr and Pascal.

Atmospheric pressure (STD) = 760 torr or

1.01x105 Pascal.

One torr = 133.32 Pascal

One Pascal = 0.0075 torr

An excellent vacuum in the electron

microprobe chamber is 4x10-5 Pa (which

is 3x10 -7 torr)

John Fournelle. Electron probe microanalysis

EPMA. UW-Madison

ESPECTROSCOPIA POR DISPERSÃO EM ENERGIA - EDS

Analisador Multicanal

Resoluções com diferentes contadores

LIMITE DE RESOLUÇÃO EM EDS

ESPECTROSCOPIA POR DISPERSÃO EM COMPRIMENTO DE ONDA - WDS

nλλλλ = 2d sen(θθθθ)

Geometria de Parafocalização

EDS x WDS

EDS

WDS

Preparação de amostras

Exemplos de

mapas de raios X

Corrosão em aço

BSE Fe

O S

Distribuição de Elementos em Zircão

Mapas de raios X