CURSO: SUPERIOR DE TECNOLOGIA EM MATERIAIS, PROCESSOS …
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TEC-ENC 9-1 TECNOLOGIAS HÍBRIDAS • Estas tecnologias permitem a implementação de módulos funcionais, combinando e integrando técnicas diversas, para exercer funções sistêmicas como recepção, aquisição, processamento e/ou saída de informação. • NECESSIDADE DAS TÉCNICAS HÍBRIDAS –Existem nichos onde os circuitos integrados monolíticos, sozinhos não podem as especificações necessárias, estas áreas são: • Circuitos de Alta Freqüência • Circuitos de Potência • Conversores A/D, D/A • Circuitos para Eletrônica Embarcada • Circuitos para Bioengenharia • Circuitos Eletrônicos Militares e Aeroespaciais • VANTAGEMS DÁS TÉCNICAS HÍBRIDAS • Funciona como Tecnologia Complementar • Aumenta a densidade de Empacotamento dos circuitos • Aumenta a densidade de Interconexão dos circuitos • Diminui retardos de propagação de I/O • Aumenta a capacidade de Potência • Possibilita Manufatura automatizada • Aumenta Confiabilidade e diminui Custos
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NC
9-1
TECNOLOGIAS HÍBRIDAS
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NC
9-2
SEQUÊNCIA DE
PROJETO DE
CIRCUITOS
HÍBRIDOS
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NC
9-3
MATERIAIS E APLICAÇÕES DAS TECNOLOGIAS HÍBRIDAS
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NC
9-4
PRINCIPAIS TECNOLOGIAS HÍBRIDAS
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9-5
MICRO
CIRCUITOS
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NC
9-6
MÉTODOS DE DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS
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9-7
CONDUTORES DE FILME FINO
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CARACTERÍSTICAS COMUNS DOS CONDUTORES DE FILME
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NC
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RESISTIVIDADE VS. SUBSTRATO EM CONDUTORES DE
FILME FINO
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NC
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SISTEMAS DE CONDUTORES/RESISTORES EM FILME FINO
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1
SEQÜÊNCIA DE PROCESSAMENTO DO
SISTEMA (OURO-NÍQUEL-CROMO)
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2
MATERIAL
TÍPICO PARA
SUBSTRATO
DE FILME
FINO
TE
C-E
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3
IMPERFEIÇÕES
SUPERFICIAIS
EM SUBSTRATOS
DE FILME FINO
TE
C-E
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4
TOLERÂNCIAS DIMENSIONAIS DE SUBSTRATOS CERÂMICOS
TE
C-E
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5
CONDUTIVIDADE TÉRMICA DE SUBSTRATOS
TE
C-E
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6
(CET) DE SUBSTRATOS
TE
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PROPRIEDADEs DOS SUBSTRATOS PARA FILME FINO
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RESISTORES DE FILME FINO
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GEOMETRIAS DE RESISTORES DE FILME FINO
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RESISTORES PARA VALORES OHMICOS ELEVADOS
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OBTENÇÃO DE N PARA RESISTORES SANFONADOS
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LARGURA MÍNIMA PARA RESISTOR
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VARIAÇÃO DOS RESISTORES COM A TEMPERATURA
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CAPACITORES DE FILME FINO
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CAPACITORES DE FILME FINO
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6
ESTRUTÚRAS TÍPICAS DE CAPACITORES DE FILME FINO
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7
CAPACITOR INTERDIGITAL
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PROCESSAMENTO DE ESTRUTURAS HÍBRIDAS
MULTICAMADAS DE FILME FINO
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MULTICAMADAS COM POLIMIDA (VIA HOLE)
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FORMAÇÃO DE VIAS (Cont.)
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