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ESPESTROSCOPIA POR ENERGIA DISPERSIVA (EDS) ESPESTROSCOPIA POR ENERGIA DISPERSIVA (EDS) E E ESPECTROSCOPIA POR COMPRIMENTO DE ONDA DISPERSIVO ESPECTROSCOPIA POR COMPRIMENTO DE ONDA DISPERSIVO (WDS) (WDS)

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ESPESTROSCOPIA POR ENERGIA DISPERSIVA (EDS)ESPESTROSCOPIA POR ENERGIA DISPERSIVA (EDS)E E

ESPECTROSCOPIA POR COMPRIMENTO DE ONDA DISPERSIVO ESPECTROSCOPIA POR COMPRIMENTO DE ONDA DISPERSIVO (WDS)(WDS)

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INTRODUINTRODUÇÇÃOÃO

1895 1895 –– WilhelmWilhelm RRööngtenngten –– observou os efeitos de uma radiaobservou os efeitos de uma radiaçção invisão invisíível vel →→RaiosRaios--XX →→ Altos graus de transparência atravAltos graus de transparência atravéés de s de materiaiasmateriaias →→ trajettrajetóórias rias em linha reta em linha reta →→ não sofriam não sofriam influêciainfluêcia de campos magnde campos magnééticos, etc.ticos, etc.1912 1912 -- Friedrich e Friedrich e KnippingKnipping confirmaram que os raiosconfirmaram que os raios--X podem ser difratados X podem ser difratados por cristais com espapor cristais com espaççamento de rede de dimensões similaresamento de rede de dimensões similares1913 1913 –– W. B. Bragg e W. L. Bragg demonstraram a teoria da difraW. B. Bragg e W. L. Bragg demonstraram a teoria da difraçção de ão de raiosraios--X X →→ obtenobtençção do primeiro padrão de difraão do primeiro padrão de difraçção de raiosão de raios--XX1913 1913 –– H. G. J. H. G. J. MoseleyMoseley observou uma progressão sistemobservou uma progressão sistemáática dos tica dos comprimentos de onda com o aumento de comprimentos de onda com o aumento de ZZ1920 1920 –– Foram obtidos padrões caracterForam obtidos padrões caracteríísticos para vsticos para váários elementosrios elementosFinal dos anos 20 Final dos anos 20 –– Desenvolvimento METDesenvolvimento MET1932 1932 –– Ernst Ruska Ernst Ruska –– demonstrademonstraçção do METão do MET1949 1949 –– CastingCasting ––MicrossondaMicrossonda Eletrônica com WDSEletrônica com WDS1965 1965 –– ProduProduçção Comercial de MEVão Comercial de MEV1968 1968 –– Desenvolvimento do detector do estado sDesenvolvimento do detector do estado sóólido lido -- EDSEDS

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1900 1900 →→ Max Max PlankPlank iniciou a analise de estrutura atômica em termos da então iniciou a analise de estrutura atômica em termos da então desenvolvida teoria quântica da energiadesenvolvida teoria quântica da energiaPlankPlank →→ áátomo ionizado não pode ter uma energia qualquer tomo ionizado não pode ter uma energia qualquer →→ somente certos somente certos valores de energia selecionados (quanta) valores de energia selecionados (quanta) ⇒⇒ relarelaçção entre a energia de um ão entre a energia de um áátomo tomo submetido a mudansubmetido a mudançças e a energia e comprimento de onda da radiaas e a energia e comprimento de onda da radiaçção emitida ão emitida →→ o o comprimento de onda (comprimento de onda (λλ) da radia) da radiaçção eletromagnão eletromagnéética, freqtica, freqüüência (ência (νν) e energia (E) ) e energia (E) são relacionados:são relacionados:

E= E= nhnhγγ = = nhcnhc//λλ (el(eléétron volt)tron volt)onde onde nn éé um num núúmero inteiro positivo, mero inteiro positivo, hh éé a constante de a constante de PlankPlank (6,626 x 10(6,626 x 10--34 34 Joule.seg), e Joule.seg), e cc éé a velocidade da luz (3,0 x 108 m/s). Na fa velocidade da luz (3,0 x 108 m/s). Na fíísica dos raiossica dos raios--X, X, EE éémedido em elmedido em eléétrontron--volt (eV) e volt (eV) e éé uma unidade de energia (1,6021 x 10uma unidade de energia (1,6021 x 10--19J/eV), 19J/eV), portanto:portanto:

E E λλ = = hchc = 12,397 = 12,397 ((eVeV.).)Niels Bohr desenvolveu um modelo do Niels Bohr desenvolveu um modelo do áátomo de hidrogênio tomo de hidrogênio →→ permitiu explicar permitiu explicar porque as freqporque as freqüüências observadas (comprimentos de onda) da energia emitida ências observadas (comprimentos de onda) da energia emitida obedeciam a relaobedeciam a relaçções simples ões simples →→ modelo possibilitou cmodelo possibilitou cáálculo das energias dos lculo das energias dos estados permitidos para o estados permitidos para o áátomo de hidrogêniotomo de hidrogênio

Refinamentos na teoria de Refinamentos na teoria de áátomos feitos por Heisenberg, De tomos feitos por Heisenberg, De BrolieBrolie e e SchrSchröödingerdingerresultaram na moderna mecânica quântica. Para propresultaram na moderna mecânica quântica. Para propóósito especifico, a mecânica sito especifico, a mecânica quântica descreve as transiquântica descreve as transiçções possões possííveis durante a interaveis durante a interaçção de feixes de elão de feixes de eléétrons trons altamente energaltamente energééticos e elticos e eléétrons dentro de trons dentro de áátomos alvo tomos alvo

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InteraInteraçções dos Elões dos Eléétronstrons

Interações de um feixe de elétrons com a amostra

Fonte:KEVEX INSTRUMENTS, INC. Energy-

Dispersive X-Ray Microanalysis. Kevex

Feixe de elétrons acelerado ↓

energia cinética ↓

Amostra↓

sinais →

e− retroespalhados

e− secundários

e− absorvidos

e− transmitidos

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InteraInteraçções dos Elões dos Eléétronstrons

Elétrons espalhados elasticamente → sem perda de energia

Elétrons espalhados inelasticamente → com perda de energia

Energia transmitida para a amostra → produção de raios-X e elétrons Auger

Informações sobre a amostra

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InteraInteraçções dos Elões dos Eléétronstrons

Espalhamentos elástico e inelástico

Fonte:KEVEX INSTRUMENTS, INC. Energy-Dispersive X-Ray Microanalysis. Kevex

Produção de raios-X e elétron Auger

Fonte:KEVEX INSTRUMENTS, INC. Energy-Dispersive X-Ray Microanalysis. Kevex

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ProduProduçção de Raiosão de Raios--XX

Elementos Elementos –– distribuidistribuiçção bem definida de elão bem definida de eléétronstronsMicroanMicroanááliselise →→ excitaexcitaçção dos elão dos eléétrons para produzir espectros trons para produzir espectros caractercaracteríísticos de Raiosticos de Raio--XX

IonizaIonizaçção de ão de ÁÁtomostomosRemoRemoççãoão de um ede um e-- de seu nde seu níível de energia e vel de energia e ejeejeççãoão →→ áátomo em tomo em

estado excitado estado excitado →→ ionizadoionizadoEstabilizaEstabilizaççãoão do do áátomo tomo →→ ee-- de de óórbita de maior energia preenche o rbita de maior energia preenche o

vazio vazio →→ excesso de energia emitido como fexcesso de energia emitido como fóóton de raioton de raio--XX

U (Z=92) U (Z=92) →→ ocasiona grande nocasiona grande núúmero de emissões espectraismero de emissões espectraisNa (Z=11) Na (Z=11) →→ poucas emissões espectraispoucas emissões espectrais

Linhas mais intensas: K, L, M, etc.Linhas mais intensas: K, L, M, etc.

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Emissões de raios-X produzidas por transições entre órbitas

Fonte: LIFSHIN, E. Materials Science and Technology

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Energia de raios-X das linhas K, L, e M em função do número atômico

Fonte: CHANDLER, J. A. X-Ray Microanalysis in the Electron Microscope

• Feixe primário →→ energia para energia para remover eremover e-- →→ Potencial de Potencial de ExitaExitaççãoão CrCríítico ou Borda de tico ou Borda de AbsorAbsorççãoão

↓↓

•• Valor discreto para cada nValor discreto para cada níível vel de energia do ede energia do e-- orbitalorbital

→→

Faixa de energia utilizada para a Faixa de energia utilizada para a detecdetecçção de raiosão de raios--XX

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Fonte: LIFSHIN, E. Materials Science and Technology

• Escoamento fluorescente

Probabilidade do fóton ser emitido

Depende Z e do orbital de ionização

Baixos valores de escoamento fluorescente para Z baixo

Dificuldade de detecção

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Quanto mais baixo o ângulo de “take off” (θ2), maior a absorção → detectores são posicionados normalmente em ângulos relativamente altos

Fonte: CHANDLER, J. A. X-Ray Microanalysis in the Electron Microscope

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“bremsstrahlung”

Feixe de e- primário → núcleo do átomo → desaceleração →espalhamento inelástico

λswl → Short Wavelength Limit

Completa conversão da energia de um elétron em radiãçãoeletromagnética

Distribuição da emissão espectral para um alvo de Mo

Fonte: LIFSHIN, E. Materials Science and Technology

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MICROANMICROANÁÁLISE ELETRÔNICALISE ELETRÔNICA

A A microanmicroanááliselise eletrônica se baseia na medida de raioseletrônica se baseia na medida de raios--X X caractercaracteríísticos emitidos de uma região de uma amostra, quando sticos emitidos de uma região de uma amostra, quando bombardeada por um feixe de elbombardeada por um feixe de eléétrons em um microsctrons em um microscóópio pio eletrônico de varredura ou em uma eletrônico de varredura ou em uma microssondamicrossonda eletrônicaeletrônica

Linhas de raioLinhas de raio--X caracterX caracteríístico stico →→ especificas dos nespecificas dos núúmeros atômicos meros atômicos dos elementos constituintes suas energias (ou comprimentos de dos elementos constituintes suas energias (ou comprimentos de onda) podem ser utilizados para identificar o elemento emissor donda) podem ser utilizados para identificar o elemento emissor da a radiaradiaççãoão

MicroanMicroanááliselise →→ ffóótons detons de RaiosRaios--X X →→ 0,185keV (Boro K) at0,185keV (Boro K) atéé em em torno de 15keVtorno de 15keV

Dentro desta faixa de energia pode ser determinada no mDentro desta faixa de energia pode ser determinada no míínimo uma nimo uma linha anallinha analíítica de raiotica de raio--X das famX das famíílias K_, L_, ou M_ para todos os lias K_, L_, ou M_ para todos os elementos da tabela perielementos da tabela perióódica com Z>4dica com Z>4

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Dois mDois méétodos são posstodos são possííveis para este tipo analiseveis para este tipo analise

WDS WDS -- ((WavelengthWavelength DispersiveDispersive SpectroscopySpectroscopy))Espectroscopia por comprimento de onda dispersivoEspectroscopia por comprimento de onda dispersivo

EDS EDS -- ((EnergyEnergy DispersiveDispersive SpectroscopySpectroscopy))Espectroscopia por energia dispersivaEspectroscopia por energia dispersiva

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WDSWDSEspectroscopia por Comprimento de Onda Dispersivo Espectroscopia por Comprimento de Onda Dispersivo

Espectrômetro por dispersão de comprimento de ondaEspectrômetro por dispersão de comprimento de ondaseparaseparaçção dos raiosão dos raios--X de vX de váárias energias rias energias →→ carcarááter ter ondulatondulatóório dos frio dos fóótons tons →→ difradifraççãoãoamostra bombardeada por elamostra bombardeada por eléétrons trons →→ raiosraios--X em uma X em uma faixa de comprimentos de onda, em funfaixa de comprimentos de onda, em funçção dos ão dos elementos presenteselementos presentescone limitado de raioscone limitado de raios--X serX seráá recebido pelo recebido pelo espectrômetro espectrômetro →→ cristal analisador de tamanho finitocristal analisador de tamanho finitocristal reflete parte dos raioscristal reflete parte dos raios--X X →→ detector detector

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CHANDLER, J. A. X-Ray Microanalysis in the Electron Microscope

nλ=2dsenθ Lei de Bragg• cristal de espaçamento interplanar d (conhecido)• ângulo crítico θ (teta) → interferência construtiva• n - número inteiro • comprimento de onda (λ) do raio-X Para um determinado ângulo de incidência → λ dos raios-X difratados podem ser calculados

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WDS WDS –– Sistema mecânico de alta precisão Sistema mecânico de alta precisão →→ estabelecer o estabelecer o ângulo ângulo θθ de Bragg de Bragg →→ amostra e cristal analisador amostra e cristal analisador →→ cristal e cristal e detector Rdetector R--XXCristal e detector Cristal e detector →→ variavariaçção de posião de posiçção mecânica ão mecânica →→ mmááximo ximo de intensidade no detector de intensidade no detector →→ identificaidentificaçção de ão de λλ

Fonte: CHANDLER, J. A. X-Ray Microanalysis in the Electron Microscope

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CRISTAL ANALISADORCRISTAL ANALISADOR

• Limites

- Faixa de Medida de λ → não pode ultrapassae o valor de 2d

-Fatores geométricos

• Para cobrir a faixa espectral da maioria das linhas características → vários cristais → diferentes espaçamentos interplanares

• Máximo → seis cristais intercambiáveisFaixa de análise dos cristais analisadores

Font:e: Lifshin, E. Materials Science and Technology

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Sinal de R-X limitado ⇒ cristal , fonte de R-X , detector → mesmo círculo

Geometria Johann Geometria Johansson

Fonte: CHANDLER, J. A. X-Ray Microanalysis in the Electron Microscope

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Contador ProporcionalContador ProporcionalRaiosRaios--X difratados X difratados →→ coletados coletados →→ detector detector ⇒⇒ absorve a energia absorve a energia →→ converte converte em sinal mensurem sinal mensuráávelvel

•• RR--X X →→ IonizaIonizaçção do gão do gáás s →→ ee-- atraatraíídos dos pelo potencial positivo do filamentopelo potencial positivo do filamento•• ElEléétrons ganham energia trons ganham energia →→ ionizaionizaççãoão

↓↓•• Avalanche de eAvalanche de e-- →→ filamentofilamento

↓↓•• Pulso elPulso eléétrico trico →→ amplitude depende amplitude depende energia do fenergia do fóóton original de Rton original de R--XX

↓↓•• DiscriminaDiscriminaçção eletrônica das energias dos ão eletrônica das energias dos raiosraios--XX

•• Fator de amplificaFator de amplificaçção ão →→ voltagem voltagem aplicada e geometria do tubo do contador

Fonte: WEILL, D; RICE, J.; SHAFFER, M. AND DONOVAN, J. Electron Beam Microanalysis – Theory and Application

aplicada e geometria do tubo do contador

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WDSWDS

Fonte: JEOL_SEM_notes

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Movimento similar ao do WDS

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EDSEDSEspectroscopia de Energia Dispersiva Espectroscopia de Energia Dispersiva

KEVEX INSTRUMENTS, INC. Energy-Dispersive X-Ray Microanalysis

Detector Si(Li)

Detector do Espectrômetro de Energia Dispersiva

• Cristal de silício entre dois eletrodos metálicos → tensão

• Camada de lítio difundida no cristal de Si → semicondutor

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•• Detector Detector →→ mantido em temperatura do nitrogênio lmantido em temperatura do nitrogênio lííquido quido →→ minimizar minimizar qualquer sinal termicamente induzidoqualquer sinal termicamente induzido

•• Protegido da região de vProtegido da região de váácuo cuo –– janela de berjanela de berííliolio

•• RR--X penetra atravX penetra atravéés da janela s da janela →→ ionizaionizaçção dentro do detectorão dentro do detector

•• Altura de pulsos de corrente gerada pelo RAltura de pulsos de corrente gerada pelo R--X X →→ proporcional proporcional àà energia energia do raiodo raio--XX

Fonte: CHANDLER, J. A. X-Ray Microanalysis in the Electron Microscope

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EDSEDS

Fonte: JEOL_SEM_notes

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Eficiência do DetectorEficiência do Detector

•• Janela de BerJanela de Beríílio lio →→ espessura de 7,5 a espessura de 7,5 a 8,0 8,0 µµm m →→ absorve Rabsorve R--X abaixo de 0,750eV X abaixo de 0,750eV →→ não permite annão permite anáálises de elementos com lises de elementos com Z < 10Z < 10

•• DetecDetecçção de elementos com Z < 10 ão de elementos com Z < 10 →→janela de poljanela de políímero aluminizado mero aluminizado →→ permite permite passagem de Rpassagem de R--X com baixa energia X com baixa energia →→detecdetecçção atão atéé CC

•• Limite de eficiência de detecLimite de eficiência de detecçção para Rão para R--X X de alta energia de alta energia →→ probabilidade de passar probabilidade de passar totalmente atravtotalmente atravéés do crista de detector s do crista de detector

•• RR--X X →→ absorvidos por contaminantes na absorvidos por contaminantes na janela ou janela ou camada morta de Si camada morta de Si →→ excitaexcitaçção ão →→ falsa contribuifalsa contribuiçção ao espectro

KEVEX INSTRUMENTS, INC. Energy-Dispersive X-Ray Microanalysis

ão ao espectro

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RESOLURESOLUÇÇÃO DE ENERGIAÃO DE ENERGIA

Capacidade de separar dois picos adjacentes no espectro de energCapacidade de separar dois picos adjacentes no espectro de energia ia energiaenergiaResoluResoluçção medida como a largura total do pico na metade da mão medida como a largura total do pico na metade da mááxima xima intensidade intensidade →→ largura largura ´́meia altura (FWHM meia altura (FWHM –– FullFull WidthWidth at at HalfHalf MaximumMaximum))EDS EDS →→ melhor resolumelhor resoluçção ão →→ FWHM ~ 2,5% da energia do pico FWHM ~ 2,5% da energia do pico →→ 145eV de 145eV de FWHM para o pico KFWHM para o pico Kαα do Mn a 5890eVdo Mn a 5890eVDegradaDegradaçção da largura de pico em EDS ão da largura de pico em EDS →→ sobreposisobreposiçção ão

Fonte: CHANDLER, J. A. X-Ray Microanalysis in the Electron Microscope

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Desempenho de um detector do estado sDesempenho de um detector do estado sóólido não lido não éé determinado somente determinado somente pelo cristal detector, mas tambpelo cristal detector, mas tambéém pelo conjunto do prm pelo conjunto do préé amplificador, amplificador, amplificador e analisador multicanalamplificador e analisador multicanal

Boa resoluBoa resoluçção ão →→ resultado da fabricaresultado da fabricaçção adequada do detector e da ão adequada do detector e da redureduçção do ruão do ruíído eletrônicodo eletrônico

Coleta da carga no detector Coleta da carga no detector →→ pulso de corrente pulso de corrente éé convertido para um convertido para um pulso de voltagem proporcional em um transistor de efeito de campulso de voltagem proporcional em um transistor de efeito de campo po –– FET FET –– ((fieldfield effecteffect transistor) transistor) →→ amplificado amplificado →→ convertido a um sinal digital e convertido a um sinal digital e contadocontado

FET tambFET tambéém m éé mantido a temperatura do nitrogênio lmantido a temperatura do nitrogênio lííquidoquido

Sistema do EDS Sistema do EDS éé acoplado diretamente a um analisador multicanal que acoplado diretamente a um analisador multicanal que tem a funtem a funçção de acumular o não de acumular o núúmero de pulsos produzidos pelo detector mero de pulsos produzidos pelo detector que caque caíírem em uma faixa definida de energia rem em uma faixa definida de energia

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WDS X EDSWDS X EDS

Fonte: JEOL_SEM_notes

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EDS e WDS EDS e WDS →→ ttéécnicas complementares cnicas complementares EDS EDS →→ espectro completo de uma amostra de forma espectro completo de uma amostra de forma simultânea, obtendo assim rapidez na ansimultânea, obtendo assim rapidez na anáálise qualitativa lise qualitativa dos constituintesdos constituintesWDS WDS →→ precisa varrer a amostra com vprecisa varrer a amostra com váários cristais rios cristais diferentes para varrer a mesma faixa de energia diferentes para varrer a mesma faixa de energia utilizada no espectrômetro de energia dispersivautilizada no espectrômetro de energia dispersivaWDS WDS →→ ao varrer uma energia, todas as outras energias ao varrer uma energia, todas as outras energias não serão difratadas construtivamente não serão difratadas construtivamente →→ não serão não serão detectadasdetectadasNormalmente Normalmente →→ WDS precisa de um tempo longo para WDS precisa de um tempo longo para varrer uma faixa de energiavarrer uma faixa de energiaResoluResoluçção espectral WDS permite a separaão espectral WDS permite a separaçção de picos ão de picos que no EDS são resolvidos de forma menos definidaque no EDS são resolvidos de forma menos definida

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•• Espectros obtidos para uma mesma Espectros obtidos para uma mesma amostra pelas duas tamostra pelas duas téécnicascnicas

•• alguns picos não ficam bem alguns picos não ficam bem resolvidos resolvidos →→ CuCuKKββ, , ZnZnKKαα e tambe tambéém m MnMnKKαα e e BaBaLLαα

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• WDS → muito eficiente para a determinação de constituintes em quantidades baixas ou traços → não resolvidos por EDS

•Interferência na faixa das linhas de raio-X de 2,30keV → envolvendo o chumbo (Pb), o molibdênio (Mo) e o enxofre (S)

• Resolução desta interferência → WDS

• Resolução por EDS → difícil

Fonte: Altmann S.A. Comunicação pessoal

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MAPEAMENTO POR RAIOSMAPEAMENTO POR RAIOS--XX

Mapeamento de distribuiMapeamento de distribuiçção elementar ão elementar →→informainformaçções de distribuiões de distribuiçção espacial dos ão espacial dos constituintes de uma amostraconstituintes de uma amostraMapeamento Mapeamento →→ sinais de raiossinais de raios--X (EDS ou X (EDS ou WDS) WDS) →→ usados para modular o brilho de um usados para modular o brilho de um tubo de raios cattubo de raios catóódicos produzindo as imagensdicos produzindo as imagensDistribuiDistribuiçção espacial da composião espacial da composiçção de uma ão de uma amostra pode ser visualizada diretamenteamostra pode ser visualizada diretamente

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Mapeamento em amostra com composiMapeamento em amostra com composiçção elementar de cobre (Cu), não elementar de cobre (Cu), nííquel (quel (NiNi), ), estanho (Sn) e chumbo (Pb)estanho (Sn) e chumbo (Pb)

Fonte: www.seallabs.com

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CONSIDERACONSIDERAÇÇÕES FINAISÕES FINAIS

Sistema de detecSistema de detecçção ser considerado ideal ão ser considerado ideal 100% eficiente na detec100% eficiente na detecçção ão →→ com relacom relaçção ão àà contagem de fcontagem de fóótonstonsalta resolualta resoluçção em energiaão em energiapossuir sistemas eletrônicos e mecânicos simplespossuir sistemas eletrônicos e mecânicos simplescapaz de detectar todos os elementos da tabela pericapaz de detectar todos os elementos da tabela perióódicadicacoletar dados rapidamente coletar dados rapidamente de fde fáácil de operacil de operaççãoãobarato e barato e pequenas proporpequenas proporççõesões

Algumas destas caracterAlgumas destas caracteríísticas são prsticas são próóprias do WDS e outras do EDSprias do WDS e outras do EDS

WDS WDS →→ alta resolualta resoluçção, excelentes limites de detecão, excelentes limites de detecçção, muito boa condião, muito boa condiçção de anão de anáálise de elementos de baixo lise de elementos de baixo nnúúmero atômico e grande precisão para anmero atômico e grande precisão para anáálises quantitativaslises quantitativas

EDS EDS →→ favorece uma anfavorece uma anáálise rlise ráápida, não tem grandes limitapida, não tem grandes limitaçções relativas ões relativas ààs suas partes mecânicas e s suas partes mecânicas e éémais barato que o WDSmais barato que o WDS

Sistemas complementaresSistemas complementares

Sistema prSistema próóximo do ideal para a realizaximo do ideal para a realizaçção de ão de microanmicroanááliseslises de raiode raio--X X →→equipado com os dois sistemas equipado com os dois sistemas →→normalmentenormalmente inviinviáável vel →→a escolha entre EDS e WDS deve ser feita considerando a naturezaa escolha entre EDS e WDS deve ser feita considerando a natureza dos problemasdos problemas

Havendo a possibilidade de utilizaHavendo a possibilidade de utilizaçção dos dois espectrômetros, ainda que em equipamentos distintos,ão dos dois espectrômetros, ainda que em equipamentos distintos, o EDS o EDS deve ser usado para andeve ser usado para anáálises rlises ráápidas. Porpidas. Poréém, se houver dm, se houver dúúvidas quanto a presenvidas quanto a presençça ou concentraa ou concentraçção de ão de elementos, a amostra deve ser analisada pelo WDSelementos, a amostra deve ser analisada pelo WDS

WDS e EDS WDS e EDS →→ carcarááter multidisciplinar, sendo aplicadas em materiais biolter multidisciplinar, sendo aplicadas em materiais biolóógicos, minerais, ligas metgicos, minerais, ligas metáálicas, licas, compcompóósitos, ciência forense e outrossitos, ciência forense e outros

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