SEM은 시료 표면를 확인할 수 있어 미세구조분석, 고분자 morphology,

필름의 단면분석, 입도분석 등이 가능하며, EDS 장비로 미지시료의 정성,

기기분석 (현미경분석)

TRI-52: SEM 정량분석이 가능합니다.

▶ SEM (Scanning Electron Microscope)▶ SEM (Scanning Electron Microscope)

SEM은 높은 에너지의 전자빔을 이용하여 전가가 시편과 충

SEM(Scanning Electron

Microscope)

- SEM은 높은 에너지의 전자빔을 이용하여 전가가 시편과 충

돌할 때 발생하는 이차전자, 반사전자, X선 등을 검출하여 확

대상을 촬영하는 장비입니다. 저배율(x 30)에서 고배율(x 100

000 이상)까지 다양한 배율에서 관찰이 가능하며, 일반적으로

저배율에서 넓은 면적을 관찰한 후 보고자 하는 미세영역을

고배율로 관찰합니다.

SEM 영상은 이차원 데이터 임에도 불구하고 마치 3차원 이미지와 유사하여 물체를 훨씬 정확하게 관찰할SEM 영상은 이차원 데이터 임에도 불구하고 마치 3차원 이미지와 유사하여 물체를 훨씬 정확하게 관찰할

수 있다는 장점이 있습니다. 따라서 요철이 심한 파단면이나 표면조도가 큰 시료 관찰에도 유리합니다.

그밖에 SEM은 특정 X선을 검출할 수 있는 EDX 검출기를 장착해 사용이 가능합니다. 이는 짧은 시간에 미세

영역의 구성성분(원소)을 분석할 수 있다는 장점이 있습니다.

SEM은 표면 뿐만 아니라 단면 전처리를 통한 시료 단면 확인에도 유용하게 활용이 되고 있습니다. 다층필

름의 각 층의 두께 측정, 도금 두께 측정, 기공의 크기 확인 등 다양한 분석이 가능합니다.

▶ 분석 서비스 소개▶ 분석 서비스 소개

서비스명 분석내용

SEM

(Scanning Electron Microscope)

시료 표면, 단면, 미세 부위 분석 가능

배율 : x 30 ~ x 100 000

(x 500)

▶ SEM 분석 예시 (무기 분말)▶ SEM 분석 예시 (무기 분말)

(x 1 000) (x 2 000)

국제공인시험기관 · 성분분석 · 맞춤분석

한국고분자시험연구소㈜관련문의: 1588-1574 www.polymer.co.kr

기기분석 (현미경분석)

(x 500)

▶ SEM 분석 예시 (실리카 분말)▶ SEM 분석 예시 (실리카 분말)

(x 1 000) (x 2 000)

▶ SEM 분석 예시 (의료용 스탠트 표면 코팅층)▶ SEM 분석 예시 (의료용 스탠트 표면 코팅층)

(x 200)

▶ SEM 분석 예시 (의료용 스탠트 표면 코팅층)▶ SEM 분석 예시 (의료용 스탠트 표면 코팅층)

(x 1 000) (x 5 000)

(x 50)

▶ SEM 분석 예시 (스펀지)▶ SEM 분석 예시 (스펀지)

(x 200) (x 1 000)

(x 300)

▶ SEM 분석 예시 (PVDF 필름 표면)▶ SEM 분석 예시 (PVDF 필름 표면)

(x 700) (x 1 000)

국제공인시험기관 · 성분분석 · 맞춤분석

한국고분자시험연구소㈜관련문의: 1588-1574 www.polymer.co.kr

기기분석 (현미경분석)

(x 200)

▶ SEM 분석 예시 (금속 표면)▶ SEM 분석 예시 (금속 표면)

(x 500) (x 4 000)

(x 500)

▶ SEM 분석 예시 (필름 단면 기공 확인)▶ SEM 분석 예시 (필름 단면 기공 확인)

(x 1 000) (x 2 000)

(x 300)

▶ SEM 분석 예시 (PEEK 플라스틱 내 유리섬유 분포 확인)▶ SEM 분석 예시 (PEEK 플라스틱 내 유리섬유 분포 확인)

(x 500) (x 1 000)

▶ SEM, SEM-EDX 분석 예시▶ SEM, SEM-EDX 분석 예시

(x 500)

국제공인시험기관 · 성분분석 · 맞춤분석

한국고분자시험연구소㈜관련문의: 1588-1574 www.polymer.co.kr

기기분석 (현미경분석)

▶ SEM, SEM-EDX 분석 예시 (이물 시료)▶ SEM, SEM-EDX 분석 예시 (이물 시료)

(x 70) (x 1 000)

분석항목단

위

분석

방법

분석결과

Spectrum

1

Spectrum

2

Spectrum

3평균

1 2 3평

C

(Carbon)

wt

%

SEM

-ED

X

53.4 56.1 57.9 55.8

O

(Oxygen)

wt

%39.7 40.1 37.2 39.0

Na

(Sodium)

wt

%4.3 2.2 2.3 2.9

Cl

(Chlorine)

wt

%1.6 0.5 1.5 1.2

Totalwt

%- 100.0 100.0 100.0 100.0

(x 1 000)

▶ 다층 필름 층별 두께 확인▶ 다층 필름 층별 두께 확인

(x 600) (x 700)

Total%

100.0 100.0 100.0 100.0

▶ 다층 필름의 각 층별 SEM-EDX 분석▶ 다층 필름의 각 층별 SEM-EDX 분석 분석부위 분석항목 단위 분석방법 분석결과

C(Carbon)

wt % 67.3

(x 100)(Carbon)

SEM-EDXO

(Oxygen)wt % 32.7

Total wt % - 100.0

Al(Aluminium)

wt % SEM-EDX 100.00

Total wt % - 100.0

Cwt % 65 5

국제공인시험기관 · 성분분석 · 맞춤분석

한국고분자시험연구소㈜관련문의: 1588-1574 www.polymer.co.kr

(Carbon)wt %

SEM-EDX65.5

O(Oxygen)

wt % 34.5

Total wt % - 100.0

기기분석 (현미경분석)

▶ FE-SEM (Field Emission Scanning Electron Microscope)▶ FE-SEM (Field Emission Scanning Electron Microscope)

- 전계방출형 주사전자현미경은 일반적인 현미경인 열전자방

출방식의 gun과 달리 electron source인 filament metal 표면

에 강한 electric filed를 걸어주어 전자를 방출시키는 gun type

의 현미경입니다.

이러한 현미경의 가장 큰 특징은 일반 SEM 보다 분해능이 뛰

어난 장점을 가지고 있어 high resolution의 image를 관찰 할

수 있다는 장점과 쉽게 electron beam의 damage를 입는 시료

들에 대해서 낮은 가속전압에서 비교적 고배율(최대 x 100 000)

(x 50 000) (x 50 000)

▶ FE-SEM 분석 예시 (Pore와 Nanowire)▶ FE-SEM 분석 예시 (Pore와 Nanowire)

관찰이 용이하다는 점입니다.

고해상도를 요구하는 박막재료와 저전압에서 고배율로 관찰

해야 하는 생물 재료 등을 분석하는데 필수적인 장비입니다.

▶ FE-SEM 분석 예시 (다공성 분말)▶ FE-SEM 분석 예시 (다공성 분말)

(x 10 000) (x 50 000)

국제공인시험기관 · 성분분석 · 맞춤분석

한국고분자시험연구소㈜관련문의: 1588-1574 www.polymer.co.kr